原初風(fēng)機(jī)在微電子產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用
“微芯片(硅片)是采用微電子技術(shù)制成的集成電路芯片,生產(chǎn)涉及許多不同的工序和系統(tǒng)。 ”
這些生產(chǎn)設(shè)施通常采用非常復(fù)雜的空氣輸送、控制和傳送系統(tǒng)以確保對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的控制始終如一。
這些系統(tǒng)采用的風(fēng)機(jī)在整個(gè)加工過(guò)程中起著十分重要的作用,是滿足嚴(yán)格的平衡、效率及噪聲規(guī)范要求所必需的部件。
雙城風(fēng)機(jī)提供的風(fēng)機(jī)產(chǎn)品能夠滿足最先進(jìn)的微芯片生產(chǎn)對(duì)所需空氣輸送設(shè)備提出的嚴(yán)苛要求。
雙城風(fēng)機(jī)在微芯片產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用包括:
空氣處理設(shè)備
潔凈室循環(huán)機(jī)組
風(fēng)機(jī)/過(guò)濾機(jī)組
模塊化無(wú)蝸殼風(fēng)機(jī)
超低振動(dòng)風(fēng)機(jī)
加工、電鍍、印刷及熱處理
高壓空氣處理
高溫排氣
排煙
臭味控制
物料處理及運(yùn)輸
徑向葉片風(fēng)機(jī)
風(fēng)選臺(tái)裝置
除塵
低速率空氣系統(tǒng)
典型應(yīng)用
空氣處理機(jī)組
除塵
再循環(huán)